柴山 学久 | BEANS研究所

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概要

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• BEANS研究所の論文著者

BEANS研究所 | 論文

• 超臨界流体を用いたSiO_2製膜における酸化剤効果
• MEMS応用に向けた超臨界流体を用いた金属薄膜形成技術の開発
• 超臨界流体を用いたSiO_2製膜の開発
• 電気等価回路モデルによるバルブレス圧電マイクロポンプの設計・解析
• 2P1-L09 誘電泳動を用いた多孔質担体への微生物固定法の確立(バイオミメティクス・バイオメカトロニクス)

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