小松 裕司 | ソニーセミコンダクタカンパニー超LSI研究所

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概要

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ソニーセミコンダクタカンパニー超LSI研究所 | 論文

• 不純物注入によるWSix単層ゲート電極の仕事関数制御
• 不純物注入によるWSix単層ゲート電極の仕事関数制御

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