福谷 克之 | 東京大学　生産技術研究所

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概要

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• 東京大学　生産技術研究所の論文著者

東京大学　生産技術研究所 | 論文

• 補強土擁壁の地震時変位量計算手法の構築及び実被害事例への適用
• 浮島構造を用いたSOI静電駆動型チルトミラーの信頼性改善
• 浮島構造を用いたSOI静電駆動型チルトミラーの信頼性改善
• 高速MEMSスキャナを用いた第三世代SS-OCT用波長走査型光源
• シリコン酸化膜犠牲層エッチング技術 (特集 プロセス技術)

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