安達 和彦 | 中部大学 工学部

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概要

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• 中部大学 工学部の論文著者

中部大学 工学部 | 論文

• MOCVD法によるRuO2およびIrO2薄膜の強誘電体下部電極としての特性
• MOCVD法により生成したTa2O5薄膜の電気伝導
• MOCVD法により生成したTa2O5-Al2O3混合膜の性質
• CVDおよびスパッタリング法による酸化タンタル薄膜の性質
• ZnSeのLPE層の電気的特性

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