大久保 雄司 | 大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター
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概要
大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター | 論文
- 光散乱法を用いたナノパーティクル測定機の開発 : 標準ナノ粒子を用いた検出精度と洗浄効果の評価
- ナノパーティクル測定機によるシリコンウエハ面のマイクロラフネス測定法
- 光散乱法を用いたSiウエハ表面のウエット洗浄によるナノパーティクル評価
- ナノパーティクル測定機によるシリコンウエハ面のナノ欠陥計測
- 光散乱法を用いたシリコンウエハ面の洗浄によるナノ構造評価