田中 秀治 | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
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概要
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター | 論文
- AS-2-3 転写法によるSAW基板上への強誘電体バラクタの集積化(AS-2.弾性波デバイスの現状と将来,シンポジウムセッション)
- AS-2-4 MEMS可変容量を集積化した可変SAWフィルタの開発(AS-2.弾性波デバイスの現状と将来,シンポジウムセッション)
- 電気的接続を伴うLTCC基板とSi基板との陽極接合
- 電気的接続を伴うLTCC基板とSi基板との陽極接合
- 微細加工技術と光ファイバー技術を用いた低侵襲医療機器の開発