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東北大学マイクロシステム融合研究開発センター | 論文
- 電気的接続を伴うLTCC基板とSi基板との陽極接合
- AS-2-3 転写法によるSAW基板上への強誘電体バラクタの集積化(AS-2.弾性波デバイスの現状と将来,シンポジウムセッション)
- AS-2-4 MEMS可変容量を集積化した可変SAWフィルタの開発(AS-2.弾性波デバイスの現状と将来,シンポジウムセッション)
- 微細加工技術と光ファイバー技術を用いた低侵襲医療機器の開発
- 電気的接続を伴うLTCC基板とSi基板との陽極接合
- RF-MEMSスイッチのための低電圧駆動薄膜PZT積層アクチュエータ
- MEMS技術を利用した低侵襲医療・ヘルスケア機器の開発(身の回りのマイクロ・ナノ技術)
- 狭ギャップマイクロ熱電子発電の基礎実験