渡邊 美香 | 公立大学法人 横浜市立大学附属市民総合医療センター 臨床検査部
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概要
論文 | ランダム
- 赤外分光法を用いたアモルファス炭化シリコン膜のその場観察とSiH_4-CH_4プラズマの発光分光分析
- シリコン系アモルファス薄膜の熱的構造安定性に関する研究
- SiH_4-CH_4系ガスのグロー放電分解により生じるプラズマの発光特性(半導体材料・デバイス)
- SiH_4-N_2プラズマ中におけるN_2ラジカルの発光特性
- 原料ガス分離分解型プラズマCVD法により生じるH_2-N_2プラズマ状態の解析