堀部 博志 | 栗田製作所

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概要

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• 栗田製作所の論文著者

栗田製作所 | 論文

• 611 プラズマイオン注入・成膜法による厚膜 DLC の作製
• イオンプラズマ複合プロセスによる低融点亜鉛合金へのDLC成膜と評価
• プラズマイオン注入成膜法による超厚膜DLCの作製 (小特集 イオン技術の新しい発展)
• RF・高電圧パルス重畳方式プラズマイオン注入装置のプラズマ特性と成膜
• 大気圧空気メゾプラズマジェット発生用パルスアークにおける電極損耗

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