大村 達夫 | 東北大学 未来科学技術共同研究センター
スポンサーリンク
概要
東北大学 未来科学技術共同研究センター | 論文
- 2段シャワープレート型マイクロ波プラズマエッチャーを用いた多層膜の連続エッチング
- RTN測定の高精度化・高速化技術とRTN特性に強い影響度を示すプロセス条件(携帯電話用カメラ,デジタルスチルカメラ,ビデオカメラ(ハイビジョン)とそのためのイメージセンサ,モジュール,特別企画「CCD誕生40周年記念講演-黎明期-」)
- シリコン表面マイクロラフネスの発生メカニズムと低減技術(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
- フッ素固定式パーフルオロ化合物(PFCs)除害システム
- High Current Drivability FD-SOI CMOS with Low Source/Drain Series Resistance(Session 9B : Nano-Scale devices and Physics)