Shimada Wataru | Department of Molecular and Material Sciences, Kyushu University, Kasuga 816-8580, Japan
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概要
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- Department of Molecular and Material Sciences, Kyushu University, Kasuga 816-8580, Japanの論文著者
論文 | ランダム
- 小径工具を用いた揺動研磨におけるスラリ流量の低減
- 修正研磨による大口径ウエハの高平坦化(第1報) : ウエハとポリシャ間の圧力分布と接触状態
- 揺動速度制御による石英ウエハの高平坦化研磨
- ブラスト加工によるポーラス材上へのピン形成
- 高さ調節可能なリテーナ機構を用いた新揺動研磨法