安達 芳雄 | 工業技術院九州工業技術試験所
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概要
工業技術院九州工業技術試験所 | 論文
- PPSをターゲットに用いた反応性スパッタ法によるポリマー薄膜の作製
- グラファイト/炭化ホウ素複合ターゲットを用いた反応性スパッタ法によるB-N-C薄膜の作製
- 複合タ-ゲットを用いた高周波マグネトロンスパッタ法によるB-N-C薄膜の作製
- グラファイト/窒化ホウ素複合タ-ゲットを用いたスパッタ法によるB-N-C薄膜の作製 (第31回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- グラファイト/SiCタ-ゲットを用いたスパッタ法によるSiCx薄膜の作製