高田 侑里 | 大阪大学工学部電子情報エネルギー工学科

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概要

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• 大阪大学工学部電子情報エネルギー工学科の論文著者

大阪大学工学部電子情報エネルギー工学科 | 論文

• ボロンの過渡拡散におけるバックグラウンド炭素濃度依存性
• 低エネルギー注入ボロンの低温熱処理時におけるキンク濃度の解析
• シリコン中の{311}欠陥へのボロンの析出:第1原理計算に基づく検証
• Siイオン注入ダメージによるAsの過渡増速拡散
• 格子間シリコン原子拡散のバックグラウンド炭素濃度依存性

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