MASUDA Satoshi | JRCAT-Angstrom Technology Partnership

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概要

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JRCAT-Angstrom Technology Partnership | 論文

• Fabrication of Photonic Crystals Consisting of Si Nanopillars by Plasma Etching Using Self-Formed Masks
• Fabrication of Photonic Crystals Consisting of Si Nanopillars by Plasma Etching Using Self-Formed Masks

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