Kumagai Shinya | Intelligent Nano-Process Laboratory, Institute of Fluid Science, Tohoku University

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概要

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• 同名の論文著者
• Intelligent Nano-Process Laboratory, Institute of Fluid Science, Tohoku Universityの論文著者

Intelligent Nano-Process Laboratory, Institute of Fluid Science, Tohoku University | 論文

• Control of UV Radiation Damages for the High Sensitive CCD Image Sensor
• Highly Anisotropic and Corrosionless PtMn Etching Using Pulse-Time-Modulated Chlorine Plasma

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