Matsushita Atsushi | Faculty of Engineering, Yamanashi University, Kofu 400, Japan

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概要

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• Faculty of Engineering, Yamanashi University, Kofu 400, Japanの論文著者

Faculty of Engineering, Yamanashi University, Kofu 400, Japan | 論文

• Characteristics of Parallel-Plate RF Discharges in C 4F 8 Gas and C 4F 8/O 2 Mixtures

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