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大山 龍一郎 | 東海大学 工学部 電気電子工学科
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東海大学 工学部 電気電子工学科 | 論文
反応性スパッター法による微結晶シリコンゲルマニウム半導体薄膜の作製
反応性スパッタリング法による微結晶SiGe薄膜の作製 (21世紀の医療と技術)
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二源RFマグネトロンスパッタ法によるSiGe薄膜の作製と評価(電気電子工学)
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