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石原 修 | 中部大総工研
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中部大総工研 | 論文
27pPSA-53 窒素とヘリウムDBDプラズマ処理された酸化チタン薄膜の表面状態(領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
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