NAKABAYASHI M. | ULSI Technology Development Division, Fujitsu Limited

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概要

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ULSI Technology Development Division, Fujitsu Limited | 論文

• Characterization of Oxygen Vacancies in SrTiO_3 Thin Films by Auger Electron Spectroscopy and Its Application to Leakage Current Reduction of Ru/SrTiO_3/Ru Capacitor

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