Yazawa Yoshiaki | Hitachi, Ltd., Central Research Laboratory, 1-280 Higashi-Koigakubo, Kokubunji, Tokyo 185-8601, Japan

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Hitachi, Ltd., Central Research Laboratory, 1-280 Higashi-Koigakubo, Kokubunji, Tokyo 185-8601, Japan | 論文

• Creation of a Degraded Layer on the Surface of Photoresist by Radical Irradiation

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