山本 晃慎 | 静岡理工科大学理工学部機械工学科
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概要
静岡理工科大学理工学部機械工学科 | 論文
- 1nm分解能の小型変位センサと小型超精密位置決め装置の開発
- ナノメータ位置決め装置の熱変形ドリフト
- 精密位置決め制御のためのリニアボールガイドの摩擦モデルに関する研究(第3報) : 非線形摩擦モデルを用いた制御による位置決め精度向上
- 精密位置決め制御のためのリニアポールガイドの摩擦モデルに関する研究(第2報) : ブラシモデルを用いた閉ループ制御によるシミュレーション
- 精密位置決めのためのリニアボールガイドに関する研究 : 非線形ばね領域の静特性から動特性を推定する方法