Kuribayashi Hiromitsu | WaferMasters, Inc., 246 East Gish Road, San Jose, CA 95112, U.S.A.

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概要

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WaferMasters, Inc., 246 East Gish Road, San Jose, CA 95112, U.S.A. | 論文

• Redistribution of Boron and Fluorine Atoms in BF2 Implanted Silicon Wafers during Rapid Thermal Annealing

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