Mori Takayuki | Department of Material Science, Shizuoka University, 3-5-1 Johuku, Hamamatsu 432-8561, Japan

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Department of Material Science, Shizuoka University, 3-5-1 Johuku, Hamamatsu 432-8561, Japan | 論文

• Effect of Back-Etching on Residual Stress in Lead Titanate Thin Films on Si Wafer

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