星野 勉 | 佐賀大学理工学部電気工学科

スポンサーリンク

概要

• 同名の論文著者
• 佐賀大学理工学部電気工学科の論文著者

佐賀大学理工学部電気工学科 | 論文

• プラスマ中のイオン擬似波の励起と伝播
• 大口径マイクロ波SF_6プラズマによるシリコンの大面積エッチング
• ホロー電極型rfマグネトロンスパッタリングによる銅薄膜の製作
• rf放電プラズマにおける駆動周波数の役割に関する実験的解明
• 発散型磁界ECRSF6プラズマのプローブ測定

もっと見る

スポンサーリンク