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佐賀大学理工学部電気工学科 | 論文
- 大口径マイクロ波SF_6プラズマによるシリコンの大面積エッチング
- ホロー電極型rfマグネトロンスパッタリングによる銅薄膜の製作
- rf放電プラズマにおける駆動周波数の役割に関する実験的解明
- 発散型磁界ECRSF6プラズマのプローブ測定
- He-SF6高周波アフターグロープラズマ中の荷電粒子の消滅過程
- プラスマ中のイオン擬似波の励起と伝播
- ハイブリッドプラズマCVDによる炭素膜作製に及ぼす基板温度の影響
- 12p-DF-9 電子ビーム源を用いた弱電離プラズマ中の放電開始
- 1a-RD-2 放電プラズマ間の電位形成
- 直流電位が印加された境界プラズマ中の電位分布
- 1p-Z-5 電流駆動型イオン音波不安定性中の電位分布
- 死亡直後の豚による頭部誘電率温度特性の推定
- 1a-J-5 境界プラズマ内の不安定波動の励起機構
- 3p-H-6 境界プラズマにおける電流駆動型不安定性による電位形成
- 29p-KL-3 境界プラズマ中の移動電荷2重層
- 光CVDによる光学薄膜の合成
- 5p-F6-1 磁化プラズマ中の電位緩和過程
- 4a-F6-13 イオンビーム不安定系におけるビームエネルギーの挙動
- 5p-C4-3 プラズマプロセシング用高周波磁化プラズマ源の開発
- 磁化プラズマにおける磁界を横切る電位ジャンプの形成機構