内藤 正彦 | 現在東洋高圧株式会社中央研究所

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概要

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• 現在東洋高圧株式会社中央研究所の論文著者

論文 | ランダム

• 29p-YA-7 酸化膜エッチングプラズマにおけるSi, CFx, Fの発光計測
• RFバイアス光プローブ法を用いた電子エネルギー分布関数の測定
• 28p-YA-2 平行平板型RIEにおけるC_4F_8プラズマのラジカル解析
• 28p-B-15 RFバイアス光プローブによる電子エネルギー分布関数の測定
• 29p-ZR-2 狭電極型容量結合プラズマの診断

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