KARASAWA Yoshio | The Univ. Electro-Communications (UEC Tokyo)

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概要

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論文 | ランダム

• 4460 HEPAおよびULPAフィルタの性能について(No. 4) : 超ULPAフィルタの捕集効率と圧力損失の実例
• 4592 HEPAおよびULPAフィルタの性能について (No, 3) : 超ULPAフィルタの性能測定方法の検討
• 4585 ウェハ付着粒子数と清浄度の関連 : (その1) スーパークリーンルームにおけるウェハ付着粒子数の測定方法について
• 4581 超清浄度の評価方法
• 4212 全面垂直層流式クリーンルームにおける気流・清浄度制御 : ULPAフィルタ下流の乱れと拡散巾

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