田尻 孝 | 日本医科大学付属病院／第1外科
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概要
論文 | ランダム
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- 29p-L-19 MFIS型メモリの膜構造と電気特性の関係(2) : レーザーアブレーション法SrBi_2Ta_2O_9膜と極薄SiNバッファ層を用いたMFIS構造のメモリ特性
- 29p-L-18 MFIS型メモリの膜構造と電気特性の関係(1) : SrBi_2Ta_2O_9の結晶構造とメモリウインドウの相関
- シリコン酸化膜技術--高信頼ゲート酸化膜実現を目指した膜劣化機構の解明と新成膜プロセスの提案 (特集 先端半導体デバイス技術)