Kawai Tomoji | The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University, Mihogaoka, Ibaraki, Osaka 567-0047, Japan

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The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University, Mihogaoka, Ibaraki, Osaka 567-0047, Japan | 論文

• Annealing Effect on Structural Defects in Low-Dose Separation-by-Implanted-Oxygen Wafers

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