原田 武志 | 福岡工業大学 工学研究科 物質生産システム工学専攻

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概要

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• 福岡工業大学 工学研究科 物質生産システム工学専攻の論文著者

論文 | ランダム

• 28a-YK-12 SiC薄膜中過剰C原子のSi基板への外拡散
• 28a-S-3 SiC膜/Si基板界面に形成されたC-rich層の結晶性
• 28a-S-2 SiC膜/Si基板界面にC-rich層の形成メカニズム
• SiC薄膜/Si基板界面の空洞化メカニズム
• 水素プラズマスパッタリング法によるSiC薄膜の低温作成

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