Yano Masaki | NTT Advanced Technology Corporation, 3-1 Morinosato-Wakamiya, Atsugi, Kanagawa 243-0198, Japan

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NTT Advanced Technology Corporation, 3-1 Morinosato-Wakamiya, Atsugi, Kanagawa 243-0198, Japan | 論文

• A Capacitive Sensing Scheme for Control of Movable Element with Complementary Metal–Oxide–Semiconductor Microelectoromechanical-Systems Device

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