上原 巳芳 | 大坂府立大学教養部化学教室

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概要

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論文 | ランダム

• CVD反応装置内のシミュレーション
• 超微粒子沈着CVDによるAlN膜の高速成膜
• 熱フィラメントCVD法によるダイヤモンド膜(超硬質薄膜形成技術の新展開)
• Inフリー基板マウント法MBEによる半導体レーザの開発
• RFスパッタにおける基板表面温度較正

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