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Naito Michio | NTT Basic Research Laboratories, 3-1 Morinosato-Wakamiya, Atsugi, Kanagawa 243-0198, Japan
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NTT Basic Research Laboratories, 3-1 Morinosato-Wakamiya, Atsugi, Kanagawa 243-0198, Japan | 論文
Highly Selective ZEP/AlGaAs Etching for Photonic Crystal Structures Using Cl2/HI/Xe Mixed Plasma
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