奥村 康昭 | 大阪電気通信大学工学部数理科学研究センター

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概要

• 同名の論文著者
• 大阪電気通信大学工学部数理科学研究センターの論文著者

大阪電気通信大学工学部数理科学研究センター | 論文

• シリコン窒化膜による反射防止膜の光学的評価
• プラズマCVD法によるシリコン酸化膜とシリコン酸素窒化膜の生成
• 光・プラズマCVD法によるシリコン酸化窒化膜の太陽電池への応用
• 光CVD法によるシリコン酸化窒化膜の太陽電池への応用
• プラズマCVD法によるP-SiN膜の太陽電池への応用

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