Shirai Ken-ichi | Faculty of Engineering, Himeji Institute of Technology, Shosha, Himeji, Hyogo 671-2201, Japan

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Faculty of Engineering, Himeji Institute of Technology, Shosha, Himeji, Hyogo 671-2201, Japan | 論文

• Incident Angle Dependence of O2 Cluster Ions on Ta2O5 Thin Film Properties

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