田坂 茂 | 静岡大学工学部材料精密化学科高分子材料研究室

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概要

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• 静岡大学工学部材料精密化学科高分子材料研究室の論文著者

静岡大学工学部材料精密化学科高分子材料研究室 | 論文

• SiO_x薄膜合成におけるリモート酸素プラズマの効果
• 有機シラン化合物のプラズマ重合による薄膜の生成

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