多田 憲倫 | 東京エレクトロンAT
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概要
東京エレクトロンAT | 論文
- 25aZB-4 新Firsov公式を用いた電子的阻止能の標的原子依存性(放射線物理(阻止能・エネルギー損失),領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
- 27pRA-4 新Firsov公式を用いた電子的阻止能の入射イオン依存性(27pRA 放射線物理(阻止能・エネルギー損失),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
- 3D Interconnect 向けSiエッチング技術
- C_4F_8ArO_2およびC_4F_8/SF_6/O_2混合ガスにおける13.56MHz放電中のイオン種
- C_4F_8/O_2混合ガス1MHz平板放電の特性