Nasu Akinobu | Air Liquide Laboratories, 28 Wadai, Tsukuba, Ibaraki 300-4247, Japan

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概要

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• Air Liquide Laboratories, 28 Wadai, Tsukuba, Ibaraki 300-4247, Japanの論文著者

Air Liquide Laboratories, 28 Wadai, Tsukuba, Ibaraki 300-4247, Japan | 論文

• Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Cobalt Using Cyclopentadienyl Isopropyl Acetamidinato-Cobalt as a Precursor

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