山崎 卓 | コマツ研究本部

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概要

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• 同名の論文著者
• コマツ研究本部の論文著者

コマツ研究本部 | 論文

• リソグラフィ用1kHz ArF エキシマレーザの耐久性評価
• LMS適応制御による運動を伴う柔軟構造物の振動制御
• 動吸振器によるトランスファフィーダの振動の低減 : 振動伝達経路に動吸振器を配置した場合( ダンピング)
• 508 CAによる粒状体掘削のモデル化に関する研究
• 508 CA による粒状体掘削のモデル化に関する研究

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