黒須 楯生 | 東海大学電子工学科

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概要

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• 東海大学電子工学科の論文著者

東海大学電子工学科 | 論文

• TiO_2膜成長に与えるSi表面プラズマクリーニング効果
• Tetraethoxysilaneを用いたプラズマ化学蒸着法における気相での酸化分解過程
• Tetraethoxysilaneを用いたプラズマCVD法における気相分解過程
• Tetraethoxysilaneを用いたプラズマCVD法によって堆積したSiO_2膜の膜中不純物
• TiO_2薄膜堆積用RFマグネトロンスパッタプロセスの気相診断

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