三橋 健一 | ウシオ電機株式会社技術研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• ウシオ電機株式会社技術研究所の論文著者

ウシオ電機株式会社技術研究所 | 論文

• 放電励起Kr_2エキシマレーザー
• 150. Kr_2^*エキシマ光の窒素による吸収特性
• 44.誘電体バリア放電を利用したヘッドオン型Ar_2^*、Kr_2^*エキシマランプの特性((2)光源・回路・放電現象[II] : HIDランプ及びその他)
• エキシマランプを用いた酸化物薄膜の作成
• 真空紫外エキシマランプを用いたポリマーのフォトエッチング

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