中谷 達行 | トーヨーエイテック(株)
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概要
トーヨーエイテック(株) | 論文
- 太陽電池ウエハ切断用マルチワイヤソーにおける加工溝内部のスラリー挙動
- D26 マルチワイヤソーによって切断される工作物の形状と加工溝内部のスラリー挙動の関係(OS-7 研削・砥粒加工(1))
- マルチワイヤソーにおけるスラリー供給方法とスラリー挙動の関係
- 高精度マルチワイヤソーの開発とその加工性能 : 第1報 : テーブル真直度とフレーム熱変形が加工精度に及ぼす影響
- ワイヤソー (特集 硬脆材料の機械加工技術--付加価値の高い電子材料の加工) -- (シリコンウェハ工程別加工技術)