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平田 豊明 | (株) 大阪真空機器製作所
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(株) 大阪真空機器製作所の論文著者
(株) 大阪真空機器製作所 | 論文
新型分子ポンプの開発 (I)
大型アルミニウム合金製ターボ分子ポンプ
新型分子ポンプの開発 (II)
ターボ分子ポンプの受ける磁場の影響
大気突入に耐える大型TMPの開発
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