Yokoyama Hiroshi | Electrotechnical Laboratory, 1-1-4 Umezono, Tsukuba-shi, Ibaraki 305-8568, Japan
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Electrotechnical Laboratory, 1-1-4 Umezono, Tsukuba-shi, Ibaraki 305-8568, Japan | 論文
- Charging Damage of Silicon-on-Insulator (SOI) Wafer Determined by Scanning Maxwell-Stress Microscopy