杉 剛直 | 佐賀大学理工学部電気工学科

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概要

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• 佐賀大学理工学部電気工学科の論文著者

佐賀大学理工学部電気工学科 | 論文

• プラスマ中のイオン擬似波の励起と伝播
• 大口径マイクロ波SF_6プラズマによるシリコンの大面積エッチング
• ホロー電極型rfマグネトロンスパッタリングによる銅薄膜の製作
• rf放電プラズマにおける駆動周波数の役割に関する実験的解明
• 発散型磁界ECRSF6プラズマのプローブ測定

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