Nakamura Ryo | Fujitsu Ltd., Fuchigami 50, Akiruno, Tokyo 197-0833, Japan

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Fujitsu Ltd., Fuchigami 50, Akiruno, Tokyo 197-0833, Japan | 論文

• Dependence of CoSi2 Sheet Resistance on Cobalt Thickness for Gate Lengths of 50 nm or Less

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