中村 士郎 | 住友大阪セメント (株)

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概要

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住友大阪セメント (株) | 論文

• BaCO_3砥粒によるSiウェハーの研磨機構
• 超微粒BaCO_3パウダーによるSiウエハの乾式ポリシング特性
• 水ベースBaCO_3スラリーによるシリコンウェハーのポリシング
• BaCO_3磁石で研磨したシリコンウェーハの表面評価
• 高分子テンプレート法を用いた新規球状BST粒子合成法の検討

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