高橋 善和 | 日本真空技術(株)筑波超材料研究所

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概要

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• 日本真空技術(株)筑波超材料研究所の論文著者

日本真空技術(株)筑波超材料研究所 | 論文

• 無酸素銅ダクトの初期排気特性
• 誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるギャップ用AIN膜の作製
• 誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるアルミナ膜の電気特性(II)
• 誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるギャップ用AIN膜の作製
• 誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタ法を用いたNiFe膜の電気特性

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