Mizutani Teruyoshi | Department of Electrical Engineering, Nagoya University, Chikusa, Nagoya 464-8603, Japan

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概要

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Department of Electrical Engineering, Nagoya University, Chikusa, Nagoya 464-8603, Japan | 論文

• Preparation of Wide-Gap Hydrogenated Amorphous Silicon Carbide Thin Films by Hot-Wire Chemical Vapor Deposition at a Low Tungsten Temperature

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