金谷 正敏 | 論文著者

新日本製鉄株式会社先端技術研究所

新日本製鐵(株)技術開発本部エレクトロニクス研究所

新日本製鐵株式會社 技術開発本部先端技術研究所半導体基盤研究部

新日本製鐵株式會社技術開発本部先端技術研究所半導体基盤研究部

東北大工